36氪獲悉,精密儀器裝備研發企業「普樂精儀」日前完成千萬級天使+輪融資,投資方為南山戰新投。普樂精儀為奇績創壇2023春季營團隊,此前已獲奇績創壇天使輪投資,累計融資金額達數千萬元人民幣。本輪融資資金將用于市場開拓及產品研發。

(云科技大廈)
普樂精密儀器(深圳)有限公司(以下簡稱「普樂精儀」)成立于2023年3月,基于自研超分辨率顯微視覺方法,主攻超精密測量儀器及運動臺。精密測量主要應用于集成電路、高端數控機床等先進制造領域,解決高精度測量、定位等難題。伴隨下游應用場景迅速發展,精密測量也面臨量程更大、所需精度更高等挑戰。
現有精密測量方法主要包括光柵尺和激光干涉儀兩類,且均存在改進空間。光柵尺多為線性單軸測量,較難同時保證多軸正交性;激光測量則對環境穩定性要求極高,且多自由度標定工作繁瑣費時。
對此,普樂精儀自研超分辨率顯微視覺測量方法,能夠同時測量平面線性及角度位移,實時精確記錄運動軌跡,絕對式編碼保證定位精準,且結構更簡單、成本更低,能夠廣泛適用于各精密測量場景。
具體來看,這一測量方法基于創始人趙晨陽提出的超分辨率微結構,并采用單點金剛石切削等工藝制造其精密部件,確保功能實現。該測量方法的光學模型由普樂精儀團隊自主提出,通過光強、光源等要素的選擇及應用,保障測量設備運作過程中的穩定性等。此外,普樂精儀的核心算法也幫助提高測量精度及計算速度。
技術原理基礎上,普樂精儀現已開發精密運動臺及精度分析儀兩產品方向,分別面向半導體晶圓加工檢測及高端數控機床診斷。
其中,精密運動臺是用于晶圓檢測、激光切割等集成電路生產環節中重要設備組件。普樂精儀產品使用超分辨率顯微視覺測量方法,并配合視覺伺服技術,能夠超越傳統運動臺所使用的光柵尺,實現運動臺絕對位置的精準定位并精確記錄每次運動軌跡。相比市面占主導的國際廠商產品,普樂精儀運動臺生產成本約能降至其1/2。
機床精度分析儀主要用于數控機床出廠及使用中的校準,普樂精儀產品能夠替代目前廣泛使用的球桿儀,解決此前接觸式測量導致的磨損、無法測量小半徑圓軌跡及任意軌跡等問題。普樂精儀機床分析儀現已實現三自由度、1μm精度級別的非接觸式任意軌跡測量,同時價格更具優勢。
團隊方面,公司創始人兼CEO趙晨陽為現任哈爾濱工業大學(深圳)機電工程與自動化學院副教授、博導,超精密測量儀器港澳聯合實驗室主任。公司其他核心成員均來自哈爾濱工業大學,團隊已在相關領域發表學術論文40余篇,授權發明專利10余項。
南山戰新投投資團隊表示,精密定位測量是工業自動化的重要組成部分,普樂精儀作為國內第一家將基于顯微視覺的精密定位技術應用于超精密運動臺的團隊,在技術指標上優秀,精度上可以做到納米級,在成本上具有普及的潛力,并實現了技術和供應鏈的國產自主可控。因此,產品有望拓展更多對高精度、大量程、性價比的半導體設備、高端數控機床行業,充分挖掘超精密測量儀器以及運動平臺應用的潛在市場。其次,團隊創始人是超精密測量領域知名學者,擁有國家重點實驗室學術背景,公司掌握前瞻性技術和工程化經驗。如今,公司已完成高校科技成果轉化,產業化進程提速,普樂精儀未來可期。
奇績創壇合伙人欒運明表示,測量精度是制約國產儀器設備的重要瓶頸,普樂精儀團隊在這方面技術積累深厚,同時他們也有極強的產品迭代和供應鏈整合能力,在奇績創業營期間成立公司并發展快速。相信依托他們自主研發的精度分析儀與精密運動平臺的強勢入場,普樂精儀將成為超精密儀器和先進制造領域的新勢力,持續助力半導體設備、高端機床等行業的國產化突破。
哈深資產公司董事長王軒表示,普樂精儀作為集產學研一體的科技型公司,是哈工大(深圳)孵化的標志性項目成果。趙晨陽教授團隊在精密測量領域有著深厚的技術積累,基于自主研發的技術成果,打破了領域內的國外技術壟斷,公司發展前景十分廣闊。同時,普樂精儀在產業化的發展實踐過程中,展現出了旺盛的生命力與蓬勃的朝氣,這個年輕的科技公司將為國內制造技術的發展持續貢獻力量。
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文丨肖千平

普樂精密儀器(深圳)有限公司成立于2023年3月,專注于半導體設備及高端數控機床等行業,核心成員來自哈爾濱工業大學大學等重點院校,是超精密測量儀器裝備國產替代的引領者。公司主要有精度分析儀(測量精度:1μm)和精密運動平臺(定位精度:500nm)兩大核心產品。